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羅茨真空泵
羅茨真空泵是一種容積式真空泵，一對8字型轉子在泵腔內以相反的方向同步旋轉而完成吸氣排氣的。在工作過程中，轉子與轉子，轉子與泵體之間始終保持一定的間隙，轉子與轉子間的間隙由一對同步齒輪調節，轉子與端面間隙靠固定端的軸承調節，另一軸承自由游動。
羅茨真空泵最大的特點是在較低的入口壓力下具有較大的抽氣速率，但其排氣口與進氣口的壓力差卻不能太大（大泵壓差約4000Pa，小泵壓差約5000Pa），所以不能單獨使用，需配置前級泵進行預抽，當入口壓力達到一定數值時（-0.092MPa以上）方能啟動。
羅茨真空泵抽氣腔內無任何輔助液體，對工藝氣體不產生污染。真空泵抽氣腔兩端的軸承及齒輪需要油潤滑，但油腔與抽氣腔間有軸封隔開。
氣體在羅茨真空泵內雖然不產生內壓縮，但在排氣時會發生外壓縮，壓縮熱會使轉子、泵體及真空油溫度升高，所以除個別小抽氣量羅茨泵無水冷外，均在油腔內加有水冷裝置